Focused Ion Beam 2
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| Short Name | FIB 2 |
| Model Name | JIB-4601F |
| Laboratory | 미세구조분석실//[81B104]집속이온빔(FIB) |
| maker | Jeol |
| Installed Year/Price | 201301 / 1,450,000,000 |
| Staff Name | 김영미(Kim Youngmi) 031-299-6729 |
| Main Appplication Field | |
| 집속이온빔은 고분해능 전자이미지 이온이미지 나노소자제작 물질 증착 등 다양한 능력을 가지고 있다. 또한 동시에 나노스케일 패터닝 (에칭 증착)과 이미지 관찰이 가능하며 이온빔과 전자빔을 동시에 이용하여 고해상도의 단면관찰 및 TEM/3DAP 시편제작이 가능하다. | |
| Basic Specification | |
| - Ultra high resolution electron imaging 초고분해능 전자 이미징 - High resolution ion imaging 고분해능 이온 이미징 - STEM imaging (BF DF HAADF) STEM 이미징 (BF DF HAADF) - TEM 3DAP sample preparation TEM 3DAP 샘플 제작 - Circuit correction (etching deposition | |